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447 完美的闭环(第1页)

等林本建出来,三人边吃边聊,卫向东正式向林本建发出邀请,希望他到大陆继续研究紫外光euv光刻,将来在众芯科技专门成立一个部门由他负责,同样可以给予众芯科技的股份。

“林先生,如果你还有什么要求,我们都可以谈。”卫向东的态度很诚恳。

林本建沉默了下开口说道:“卫先生,或许你不清楚,研发134纳米的极紫外光euv遥不可及而且耗费巨大,现在光刻机还卡在193纳米这个这个阶段。”

“我知道,极紫外光euv是光刻机发展的未来,而193纳米这道坎终将会被迈过。”卫向东笑回答道。

林本建听了笑了起来:“卫先生,你是个局外人,竟然比我们这些局内人还充满自信?”

“或许正是因为我是个局外人,所以和你看问题角度不同,光刻机停留在193纳米已经好几年了吧?所谓厚积薄发该到突破的时候。不是有一种叫什么浸润式光刻吗?我看那个法子就行。”卫向东说道。

“浸润式光刻?卫先生你也认为浸润式可行?!”林本建的声音突然变得激动起来。

不是我认为行,是因为历史最后证明这个法子行!

卫向东实在不明白这个林本建为何如此激动,旁边的张如京才告诉他,在80年代末期,林本建就提出随着芯片精度越来越高,光刻机的精度最终会遇到瓶颈,可以用浸润式原理解决这个问题。

不过当时业界正要准备1000纳米的量产,后来林本建又帮ib解决两个世代以后的技术,也就是500纳米;那时还有很多方法可用,不需要浸润式这种颇为复杂的办法。

直到九十年代初期,光刻机的研发卡到了193纳米,包括ib、佳能等大型公司,都是朝着研发干式157n光刻机的道路奋力前进,根本没有理睬到林本建的这个冷门的浸润式!这让他很是沮丧。

所以,今天从一个外行嘴里说出看好浸润时,林本建感到有些激动。

“卫先生,你怎么认为浸润式办法可行,如何液体穿透率不高问题?”

面对林本建急切的发问,卫向东愣住了。

我懂个屁啊

我只不过是穿越前在网上无聊时候看过一些这样的文章,知道几个术语而已何况又过去了这么多年?

早知道做做功课,在网上查查这方面的资料就好了,这不又到了2000年吗?已经有网了。

卫向东心里暗暗后悔。

看到卫向东略微尴尬的表情,林本建这才意识到,对方只是个企业家,科技方面纯粹就是个门外汉!”

没准这个浸润式也不知道从哪里看到的资料,觉得好玩而已。

林本建顿时有些失望,刚准备结束这个话题,突然又听到卫向东蹦出一句话:“可以用水呀水不是很透明吗?”

“用水?水在193纳米波长的折射率是得到146,但问题在于157纳米波长下水的折射率是量不出来的,因为不透光”林本建立刻反驳。

“为啥非要用157纳米?那就用193纳米下的折光呗。”卫向东小心翼翼回答道。

“你不懂,现在的主流是157纳米”林本建随口回答了一句。

“林先生,你忽略了一点,水的折射率在一般的波长是13多。所以在一般波长下用水做浸润式的介质只能改进30多,但若改成现在可用的最短波长193纳米,146的折射率特性,水能把解析度增加46,”

张如京突然插话进来,他是搞芯片制造的,当然对光刻机熟悉的再也不能熟悉,现在听到两人的对话,心里顿时有了启发,插话进来。

“嗯?”

张如京的话,让林本建一愣,思索了一阵突然叫道:“对呀我干嘛学他们一样死攻157纳米?”

“157纳米只比193纳米短23,换句话说,只能把解析度提高23,用193纳米加水可以提高46,几乎是两倍。因为波长只在水中变短为132纳米。光在进入水前的波长是193纳米,可以避开所有157纳米的困难,能改进46!”

林本建越说越兴奋,猛然站了起来:“两位失陪了,我现在要去公司验证我的想法!”说完匆匆走了出去。

呵?

阿拉德:氪金就变强  从吞噬开始的瓦洛兰之旅  快穿:宿主甜宠小狐狸  从斗罗开始无限之旅  穿成农女把家起  斗罗从万磁王武魂开始  人在校园:我有一双写轮眼  次元之主  灾祸之刃:我是妖刀伽蓝  我能无限吞噬神通  开局震惊圣女,我作死就无敌  诸天:从斩高俅开始  任先生非要和我谈恋爱  修仙,从龙女开始  生而为王  斗罗之战歌  炽天使:开局就是第七始祖  都督今天追到夫人了吗  整蛊道长  极品赘婿  

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