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而这些在徐申学看来,都是自己这几年辛辛苦苦播种之后结出来的果实!
唯一让徐申学不满,乃至担忧的是,结出芯片果实的这些先进晶圆厂,使用的各类设备以及耗材,绝大部分都是进口货,非常容易被卡脖子。
比如典型设备光刻机,清一色的是荷兰ASML的DUV浸润式光刻机,目前也只有该公司生产的DUV浸润式光刻机,才能够满足三十二纳米二十纳米工艺的芯片生产。
海湾科技研发出来的HL-ARF6508型DUV干式光刻机,可没办法干这个活!
哪怕采用双重曝光技术也非常困难,这里头还有着套刻精度的要求,海湾科技的第一台DUV干式光刻机,套刻精度只有八纳米,而根据海湾科技方面的技术研究,想要搞双重曝光的话,至少也得5.6纳米的套刻精度,这样才能够通过双重曝光做出来四十纳米的工艺。
很可惜,目前的海湾科技的光刻机套刻精度,还达不到这个程度。
就算能达到,也没啥实际用处。
因为成本太高了!
现在的四十五纳米工艺芯片,都已经算是落后制程芯片了,你还用多重曝光技术大幅度增加成本,得亏死你。
当然,这说的是正常市场环境下……如果是不正常的市场环境下,也是可以这么做的。
因此海湾科技那边,也对这方面的技术进行一定的研究,算是作为一个技术储备的研发吧,实际上没啥卵用!
毕竟哪怕爆发战争之类的极端事件,以海湾科技的技术能力,也能够维护进口的一大堆DUV浸润式光刻机的运行。
而智云微电子进口的DUV浸润式光刻机,那可是相当多。
目前已经投入使用,以及算上已经到货,正在安装调试的DUV浸润式光刻机,总量有六十三台。
对应的是智云微电子之前规划的月产十五万片十二寸晶圆的产能。
此外还有大量DUV浸润式光刻机的订单,因为智云微电子还在修建更多的晶圆厂,正在持续提升产能,ASML那边每年都要给智云微电子交付二三十台DUV浸润式光刻机呢。
至于最后智云微电子能有多少进口的DUV浸润式光刻机,一方面要看国外什么时候对智云进行制裁,另外一方面就要看海蓝科技的技术什么时候获得突破,自己搞出来DUV浸润式光刻机了。
而这些进口的DUV浸润式光刻机,海蓝科技也是具备对其进行基本维护的能力的,足以保障其运转。
因此,哪怕是极端情况下,智云微电子也用不着使用自家的DUV干式光刻机去生产四十五纳米的芯片。
没那必要。
参加了智云微电子的第二期工程投产仪式后,徐申学干脆飞到了智云微电子的通城总部,去视察了智云微电子的先进制程研发团队,看看研发进度如何。
目前智云微电子,正在攻坚22纳米工艺,该工艺已经是目前最顶级的工艺技术了,几乎逼近了当下DUV浸润式光刻机的物理极限,其研发难度是相当大的。
徐申学去看的时候,察觉到了研发团队的进度缓慢后,也是默默的调高了对工艺制程研发人员的科研系统名额的分配。
给他们套了个S级的科研名额。
目前徐申学手头上一共就只有两个S级的科研名头,之前只有一个的时候是芯片制造和半导体设备等重点项目里轮流使用。
如今徐申学又兑换了一个S级名额后,这样半导体制造以及半导体设备这两大领域里,就能够各自长时间使用一个S级的科研名额了。
这将会带来更大的科研效率的提升!
而除了S级科研名额外,徐申学实际上过去一年里还兑换了二十几个A级名额,而这些新增名额相当多一部分也用在了智云微电子或海湾科技里。
对这两大核心企业里的研发进度,徐申学一向来都是非常重视的。
至于其他企业里的研发项目,虽然也重要,但是暂时有少量A级名额顶着,带着一群B级以及C级也基本够用了。
至于高级的S级以及A级,徐申学则是更倾向于使用在核心的半导体领域里。
在智云微电子的总部研发部门转了一圈,和梁松教授吹牛打屁了小半天后,徐申学才去工厂里进行看看。
只不过视察到一半呢,琼州岛上也传来了不太好的消息,南门航天公司旗下的南天门5号火箭,又又一次炸了……
至于为什么说又。
自然是因为不久前才炸了一次!
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