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如果真的可以做到这些,那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步!
终于,在万众瞩目中,进度条拉满!
一块晶圆被吐了出来,机械臂再度吸起来,然后放入蚀刻机。
这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。
时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。
终于,晶圆被切割成了700片小的芯片。
苏晨这个时候立刻去开始查看数据。
随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。
他看向自己的老师,对方已经明白了结果。
“我宣布,国产第一台极紫外光刻机,研制成功!”
声音徐徐落下,所有科研人员都猛地起身,发出了雷鸣一般的掌声!
甚至有的人激烈的拥抱在了一起!
“成功了!!!!5n芯片啊!!!!”
“我们可以挺起腰杆来做人了!”
“极紫外光刻机!5n芯片!!!外国佬,就你们有5n?”
……
是的,接下来只要能研究出来图谱,那么这台光刻机就能制造出来!
几位院士也老泪纵横。
他们没想到居然真的成功了!
其实他们来之前,还是觉得这次会失败的!
但是现实告诉了他们结果!
“小苏,干的漂亮啊!”
“杨平,你后继有人了!这次你和小苏都立了大功啊!”
“我国有杨平和苏晨,半导体行业才能如此突飞猛进啊!”
几个院士说的毫不夸张!
杨平研究了芯片图谱出来,而苏晨拿出了光刻机图谱出来。
这一前一后,可以说是相辅相成!
在大家庆祝的时候,只有杨平一个人默默的进入了净室。
他扶着身心俱疲的苏晨一起从净室出来。
“老师,详细的数据报告还需要一会儿时间,我可以再等等。”
苏晨很想等到详细数据报告。
因为刚刚那个数据只是代表着光刻机的生产成功了。
但是看不出良品率的高低。
一台光刻机一定要看良品率。
说白了,一片12英寸的晶圆,可以切割700片手机芯片。
但是能用的只有500左右。
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